Яковенко Анатолий Георгиевич

Заместитель директора по научной работе Института химических проблем микроэлектроники с 1991 г.; родился 18 октября 1938 г. в г. Одессе; окончил Московский институт тонкой химической технологии в 1963 г., доктор технических наук, профессор; член-корреспондент РАЕН (1995); специалист в области материаловедения и технологии полупроводников; 1963—1991 — ассистент, доцент, заместитель проректора по научной работе, заведующий кафедрой физики и химии твердого тела Московского института тонкой химической технологии.